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排查微电子无尘室成品库运行平常所完成的那项自测中，在这其中一笔就是说对地下室气旋的排查。这时整个的自测系统的首要分解成部份。以便稀释溶液或清除地下室的透明桌面严重污染破坏，才能避免严重污染破坏在地下室的1个，地下室须得有宽裕的气旋传递以对气旋须得完成检测工具。 在紊流洁净室中，风的输送和混合都是紊流方式进行的。为确保污染物被清楚，电子bob体育全站 的各个部分必须均实现良好的空气混合。在单向流净化车间中，为保证关键区域达到理想洁净的水平，其送风直接来自高效过滤器。
电子bob体育全站 垂直层流式方向要保持均一气流必须：
吹出面的风速不可有速度上的差异；
地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高均有涡流之现象发生，而之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在之间。
影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。
电子bob体育全站 一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。